宗明成

宗明成的个人简介

宗明成，研究员。电子设备技术研究室(八室)教育背景1989年毕业于清华大学物理系，获理学（光学）博士学位。1986年毕业于东南大学电子工程系，获工学硕士学位。1983年毕业于东南大学电子工程系，获工学学士学位。。工作简历2011.04 u20...

个人信息

宗明成，研究员。

所属部门

电子设备技术研究室(八室)

简历

教育背景

1989年毕业于清华大学物理系，获理学（光学）博士学位。

1986年毕业于东南大学电子工程系，获工学硕士学位。

1983年毕业于东南大学电子工程系，获工学学士学位。。

工作简历

2011.04 u2013至今：中国科学院微电子研究所研究员、博士生导师，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专家组和实施办公室特聘专家。中国科学院光电研究院兼职研究员，中国科学院长春光机所兼职研究员，哈尔滨工业大学兼职教授。

2009.05 u2013 2011.03：荷兰皇家飞利浦照明研发中心（中国）总监。

2000.01 u2013 2009.05：荷兰ASML光刻机公司研发经理，高级工程师。

1999.02 u2013 1999.12：荷兰国家原子分子研究所 （AMOLF）研究员。

1998.02 u2013 1999.01：荷兰代尔夫特（Delft）技术大学研究员。

1990.01 u2013 1998.01：北京交通大学教授，系主任等。