朱煜（清华教授）

朱煜（清华教授）的个人简介

朱煜（1965年1月-），毕业于中国矿业大学，博士学历。现为清华大学机械工程系长聘教授、博士生导师，机械电子工程研究所所长和科技部首批重点领域“超精密机械与测控创新团队”负责人。

担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长、技术副总师，装备组、光刻机组组长。出版学术专著2部，发表论文170余篇，申请国家发明专利180余项（授权110余项、12项美国专利）。

人物经历

教育经历

（1） 学士，北京师范大学无线电电子学系，1983年获无线电电子学理学学士学位；

（2） 硕士，中国矿业大学信息电子工程学院，1993年获计算机应用工学硕士学位；

（3） 博士，中国矿业大学机械工程学院，2001年获机械设计及理论工学博士学位 。

工作经历

1983.08-1996.12，中国矿业大学，讲师

1997.01-2004.03，中国矿业大学，副教授

1999.09-2001.07，清华大学制造工程研究所，访问学者

2001.09-2004.03，清华大学制造工程研究所，博士后

2004.04-2007.11，清华大学精仪系，副教授

2007.12-2012.12/-至今，清华大学精仪系制造所/机械系机电所，长聘教授，博导

研究方向

主要从事超精密机械与测控方向研究，包括精密测量与控制理论、超精密机械设计与制造、电子制造装备及其系统等，研制出国内首个光刻机双工件台系统样机，关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台的先进水平。

主要成就

朱煜带领百余人重大科技研究攻关团队，面向IC制造装备的重大技术需求，围绕纳米级运动精度的生成，在超精密机械系统设计、超精密测量、超精密运动控制等方面，开展系统、深入的基础理论与关键技术研究。主持国家科技重大专项项目及国家基础科学研究计划课题，研制出超精密工件台系统、大行程气浮/磁浮平面电机、六自由度纳米精度微动台等半导体制造装备核心部件，掌握了IC制造装备包括超精密机械设计与制造、超精密激光干涉测量与标定、纳米精度高动态运动控制、高性能主动/被动隔振等具有自主知识产权的系列关键技术。

撰写学术专著2部；发表学术论文总数171篇，其中SCI收录54篇、EI收录166篇，他引250次；申请中国发明专利130余项，其中93项已授权，22项已公开；申请21项PCT专利，其中10项美国授权；此外申请实用新型专利30余项，其中23项已授权。

2019年3月1日，2018年度北京科学技术奖励大会在北京会议中心召开。由清华大学摩擦学国家重点实验室朱煜教授率领的研究团队完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用”研究成果获得北京市科学技术奖一等奖。

2020年10月，由清华大学机械工程系长聘教授朱煜博士一人参与创办的两家公司都在申报科创板IPO：一家是由他实际控制的北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”），另一家是由他联合创建、归属清华大学的华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）。

荣誉记录

曾先后获得 2015年国家专利优秀奖、2018年国家专利银奖、2018年北京市科学技术奖一等奖等多项荣誉。

代表著作

1．陈霸东，朱煜，胡金春，《系统参数辨识的信息准则及算法》. 2011.

2．陈霸东，朱煜，胡金春，Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms，Elsevier(英文版). 2013.

代表专利

1. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. COARSE MOTION AND FINE MOTION INTEGRATED RETICLE STAGE DRIVEN BY PLANAR MOTOR, US 15/307,752.

2. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. DUAL-FREQUENCY GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,828

3. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. OPTICAL GRATING PHASE MODULATOR FOR LASER INTERFERENCE PHOTOETCHING SYSTEM, US 14/761,605.

4. ZHU Yu, WANG Leijie, et al. THREE-DOF HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/900,111.

5. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. SIX-DEGREE-OF-FREEDOM DISPLACEMENT MEASUREMENT METHOD FOR EXPOSURE REGION ON SILICON WAFER STAGE, US 15/568,118.

6. ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,821.

7. 张鸣,朱煜,等.一种三自由度的运动工作台,201510587639.9.

8. 穆海华,朱煜,等.一种永磁弹射掩模台弹射区电机出力最小轨迹规划方法,201510802623.5.

9. 朱煜,胡金春,等.一种基于磁场的六自由度位移测量方法, 201510959014.0.

10.朱煜,杨开明,等.一种基于VPX总线的工件台同步运动控制系统及方法, 201510983397.5.